赛默飞分子泵操作须知

　　赛默飞分子泵是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。集两种泵的优点于一体，能在很宽的压力范围10-6~1pa内，具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

　　分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片。实际的分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高赛默飞分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。

　　操作要求：

　　1、气路接口的快接法兰的螺杆应朝上，以防松弛造成漏气；

　　2、不能在大气状态下开分子泵，必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀，开启分子泵；

　　3、每次停机后，务必清洁各分子泵的进气口处，使其保持干净，以避免不必要的损坏；

　　4、当出现报警信息“EF”时，应检查冷却水路是否通畅。确保水路顺畅后，方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时，严禁再次启动，待后处理；

　　5、在出现问题而不能使用时，应暂停生产，手动充大气后，更换备用的；

　　6、当始终达不到启动条件时，应检查前级泵和电磁阀工作是否正常；

　　7、当出现故障时，须根据赛默飞分子泵故障提示作相应处理。