赛默飞分子泵操作须知

点击次数:392  更新时间2020-01-13  【关闭

       赛默飞分子泵操作须知
      赛默飞分子泵是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。集两种泵的优点于一体,能在很宽的压力范围10-6~1pa内,具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。
      分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片。实际的分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高赛默飞分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
      操作要求:
      1、气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气;
      2、不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子泵;
      3、每次停机后,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏;
      4、当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅。确保水路顺畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动,待后处理;
      5、在出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的;
      6、当始终达不到启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常;
      7、当出现故障时,须根据赛默飞分子泵故障提示作相应处理。
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